[发明专利]甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机

权利要求书

1.一种甩干机的烘干系统，包括甩干桶（1），其特征在于，所述甩干桶（1）设置为内桶（11）和外桶（12）的双桶结构，所述内桶（11）设置在所述外桶（12）内，所述烘干系统包括：

吹扫机构（2），安装在所述甩干桶（1）内，用于提供吹扫晶圆用的吹扫气体，所述吹扫机构（2）包括进气管道（21）和与所述进气管道（21）连接的输出管道（20），所述进气管道（21）环绕设置在外桶（12）的内壁，所述输出管道（20）设置在所述内桶（11）上；

加热机构（3），安装在所述甩干桶（1）内，用于加热所述吹扫气体和所述甩干桶（1）；

气体流量调节机构（4），安装在所述吹扫机构（2）内，用于调节所述吹扫气体的流量；

温度湿度传感器（5），用于测量所述甩干桶（1）内的温度信息和湿度信息；

控制器（6），所述控制器（6）与所述吹扫机构（2）、所述加热机构（3）、所述气体流量调节机构（4）和所述温度湿度传感器（5）电性连接，用于控制所述加热机构（3）同时加热所述吹扫气体及所述甩干桶（1）以对所述甩干桶（1）内的所述晶圆进行烘干处理，并用于获取所述温度信息和所述湿度信息；

所述控制器（6）还用于在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构（4）减小所述吹扫机构（2）中吹扫气体的流量；

所述控制器（6）还用于在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息大于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构（4）增大所述吹扫机构（2）中吹扫气体的流量。

2.根据权利要求1所述的甩干机的烘干系统，其特征在于，所述气体流量调节机构（4）设置在所述进气管道（21）上，所述温度湿度传感器（5）设置在所述内桶（11）内。

3.一种甩干机的烘干方法，应用于甩干机的烘干系统，其特征在于，所述甩干机的烘干系统包括：

甩干桶（1），所述甩干桶（1）设置为内桶（11）和外桶（12）的双桶结构，所述内桶（11）设置在所述外桶（12）内；

吹扫机构（2），安装在甩干桶（1）内，用于提供吹扫晶圆用的吹扫气体，所述吹扫机构（2）包括进气管道（21）和与所述进气管道（21）连接的输出管道（20），所述进气管道（21）环绕设置在外桶（12）的内壁，所述输出管道（20）设置在所述内桶（11）上；

加热机构（3），安装在所述甩干桶（1）内，用于加热所述吹扫气体及所述甩干桶（1）；

气体流量调节机构（4），安装在所述吹扫机构（2）内，用于调节所述吹扫气体的流量；

温度湿度传感器（5），用于检测所述甩干桶（1）内的温度信息和湿度信息；

所述甩干机的烘干方法包括以下步骤：

控制所述加热机构（3）同时加热所述吹扫气体及所述甩干桶（1）以对所述甩干桶（1）内的所述晶圆进行烘干处理；

获取所述温度信息和所述湿度信息；

在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息小于或等于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构（4）减小所述吹扫机构（2）中吹扫气体的流量；

在所述湿度信息大于预设湿度阈值且所述温度信息大于预设温度阈值时，控制所述气体流量调节机构（4）增大所述吹扫机构（2）中吹扫气体的流量。