[发明专利]基于NV色心的芯片磁场检测方法及装置有效
| 申请号： | 202210141249.9 | 申请日： | 2022-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN114200362B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 方源;万传奇 | 申请（专利权）人： | 国仪量子（合肥）技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/12 | 分类号： | G01R33/12;G01R33/10 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 赵静 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区创*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于NV色心的芯片磁场检测方法及装置，该方法包括：为被测芯片施加电压，以使所述被测芯片处于工作状态，其中，所述被测芯片的一侧设置有金刚石NV色心探头；通过所述金刚石NV色心探头对所述被测芯片执行多个周期的检测，以得到多个磁信号图，其中，每个检测周期向所述金刚石NV色心探头施加不同微波共振频率的微波信号；根据所述多个磁信号图，得到所述被测芯片表面的磁场分布情况。该检测方法在对被测芯片进行磁场检测时，检测效率高，且磁场变化差异的区分度大，可更直观地反映磁场强度细微变化，使得检测精度高，同时不会对芯片造成损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 nv 色心 芯片 磁场 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
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