[发明专利]一种薄膜型声表面波滤波器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210140561.6 | 申请日： | 2022-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN114513189A | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 赵娟;田熙 | 申请（专利权）人： | 成都芯仕成微电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64;H03H9/02;H03H3/08 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124 | 代理人： | 吴中伟 |
| 地址： | 610000 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请涉提供一种薄膜型声表面波滤波器及其制备方法，该薄膜型声表面波滤波器，包括基底，至少包括第一区域和第二区域；其中，在所述第一区域上设置有第一功能层，在所述第二区域上设置有第二功能层，所述第一功能层的厚度与所述第二功能层的厚度不同；补偿结构，设置在所述第一区域对应的基底与第一功能层之间和/或设置在所述第二区域对应的基底与第二功能层之间，以补偿所述第一功能层和所述第二功能层之间的厚度差。通过本技术方案，在保证器件性能的同时，提高滤波器的集成度。本发明适用于高度集成的滤波器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 表面波 滤波器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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