[发明专利]一种芯片级红外光谱仪在审
申请号: | 202210127586.2 | 申请日: | 2022-02-11 |
公开(公告)号: | CN116625503A | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
发明(设计)人: | 汪洋;王建宇;舒嵘;马艳华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
主分类号: | G01J3/02 | 分类号: | G01J3/02;G01N21/01;G01N21/35 |
代理公司: | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人: | 郭英 |
地址: | 200083 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种芯片级红外光谱仪。包括内外两层封装结构,内层封装将光电转换探测器、分光器件、和探测器驱动与处理集成芯片进行芯片级高集成度封装,外层封装结构将内层结构、微透镜或透镜、微型照明紧密结合,实现整体结构固化。其中分光器件采用薄膜窄带滤光片阵列,光电转换探测器的探测单元之间设计有消除混合光谱的微小间隔,两者在空间上一一对应,不同探测器单元接收不同波长的信号,实现光谱测量。该芯片级光谱仪的优势在于整体尺寸不大于1厘米,紧凑稳固抗震动。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片级 红外 光谱仪 | ||
【主权项】:
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