[发明专利]测试探针清洁方法的摩阻刮除方法有效
| 申请号： | 202210126256.1 | 申请日： | 2020-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN114405887B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 贺涛;金永斌;丁宁;朱伟 | 申请（专利权）人： | 法特迪精密科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明测试探针清洁方法的摩阻刮除方法涉及半导体技术领域；具体为：通过进气管对套管上端侧壁上开有的进气孔输入气体，在压力的作用下推动活塞向下移动，推动传动杆克服复位弹簧的弹力作用，进而带动移动片向下移动，通过弹性件推动刮除件向下移动，向下移动的刮除件与梅花探头的上端面棱角处相对应，并在弹性件的弹力的作用下，使刮除件的下端面紧密贴靠在梅花探头的棱角端面上，并沿着其向下移动至梅花探头的底部时，再通过进气管对套管上端侧壁上开有的进气孔进行吸气，逆向重复之前过程；本发明应用于测试探针清洁方法，能够有效代替人工清洁，保证了清洁质量和测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 探针 清洁 方法 摩阻刮 | ||
【主权项】：
暂无信息
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