[发明专利]测试探针清洁方法的粘性吸附方法有效
| 申请号： | 202210126255.7 | 申请日： | 2020-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN114414862B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 贺涛;金永斌;丁宁;朱伟 | 申请（专利权）人： | 法特迪精密科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R1/067;B08B1/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明测试探针清洁方法的粘性吸附方法涉及半导体技术领域；具体为：启动传动电机顺时针转动，带动主动梯形齿轮顺时针转动，主动梯形齿轮带动螺纹套筒逆时针转动，带动传动轴向下运动，通过固定片带动清洁软胶向下运动至与测试探针的上端面相抵靠，清洁软胶在与测试探针的梅花探头部分的接触作用由接触、抵靠、碾压发生形变，将梅花探头上端面的杂质和灰尘粘在清洁软胶的表面上，调节传动电机逆时针转动，将之前的动作逆方向完成，清洁软胶相上运动至与测试探针的上端面相分离，以完成粘性吸附清洁工作；本发明应用于测试探针清洁方法，能够有效代替人工清洁，保证了清洁质量和测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 探针 清洁 方法 粘性 吸附 | ||
【主权项】：
暂无信息
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