[发明专利]测试电路、测试热载流子注入效应的方法与测试装置在审
| 申请号： | 202210119353.8 | 申请日： | 2022-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN114487754A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 王志强 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 霍文娟 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供了一种测试电路、测试热载流子注入效应的方法与测试装置。该装置包括：N个电阻单元，N个电阻单元串联形成电阻串结构；电流检测单元，用于检测流过电阻串结构的电流；第一电极、第二电极、开关器件和N个测试电极，其中，电阻串结构的第一端与电源端电连接，电阻串结构的第二端分别与第一电极和开关器件的第一端电连接，开关器件的第二端接地；N个电阻单元的第二端用于与N个待测试MOS器件的栅极一一对应电连接；N个测试电极用于与N个待测试MOS器件的漏极一一对应电连接。本测试电路一次可以测得多个待测试MOS器件的不同栅极电压或者漏极电压的HCI，提高了测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 电路 载流子 注入 效应 方法 装置 | ||
【主权项】：
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