[发明专利]一种固定机构及具有其的PVD机台在审
| 申请号： | 202210102716.7 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN114381703A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 朱亮;柳小敏;邰晓东 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 钟玉敏 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种固定机构及具有其的PVD机台，所述固定机构用于稳固PVD腔体中转动装置与磁铁装置间的传动，转动装置包括安装基座、马达、主动齿轮、从动齿轮、固定键和固定机构，安装基座固定设置在冷却室外壁，马达的中心轴的延伸段上设有第一嵌插结构，主动齿轮环绕在延伸段外周，并设有第二嵌插结构，与第一嵌插结构形成供固定键插入的嵌插结构，固定机构包括固定组件，固定组件设置在主动齿轮的底端，从动齿轮的中心轴连接磁铁装置，且通过皮带与主动齿轮连接。本发明通过增设固定机构，可防止固定键松脱掉落，保证转动装置与磁铁装置间的传动正常，实现维持磁铁装置正常匀速旋转，提供PVD工艺所需的稳定磁场，且固定机构结构简单，加工成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固定 机构 具有 pvd 机台 | ||
【主权项】：
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