[发明专利]微测辐射热计和其制造方法在审
| 申请号： | 202210097771.1 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN114485949A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 周群渊 | 申请（专利权）人： | 鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 康艳青;王琳 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开提供一种微测辐射热计，包括基板、配置于基板上方的读取电路层、配置于读取电路层上方的第一氧化钒层、配置于第一氧化钒层上的第二氧化钒层以及配置于第二氧化钒层上方的红外线吸收层，其中第二氧化钒层的含氧量高于第一氧化钒层的含氧量。高含氧量的第二氧化钒层保护第一氧化钒层免受环境影响，从而提高第一氧化钒层的稳定性并且改善微测辐射热计的感测表现。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射热 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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