[发明专利]信息处理装置、程序和工艺条件搜索方法在审
| 申请号： | 202210085909.6 | 申请日： | 2022-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN114861930A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 野田勇人;山崎翔太;竹永裕一;福元敏之 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G06N20/00 | 分类号： | G06N20/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供信息处理装置、程序和工艺条件搜索方法，其使用半导体制造装置的机器学习模型，搜索能够达成作为目标的工艺结果的工艺条件。为了解决上述问题，信息处理装置生成依照工艺条件执行处理的半导体制造装置的机器学习模型，使用机器学习模型搜索能够达成作为目标的工艺结果的工艺条件，并包括：选择使用多个回归方法所生成的多个机器学习模型中的、适合于数据集的机器学习模型的模块；使用所选择的机器学习模型进行优化计算，计算多个工艺条件、工艺结果的预测值和预测值的可靠度的模块；根据工艺结果的预测值和预测值的可靠度，选择1个以上的工艺条件的模块；以及显示所选择的工艺条件、工艺结果的预测值和预测值的可靠度的模块。 | ||
| 搜索关键词： | 信息处理 装置 程序 工艺 条件 搜索 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210085909.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：流体处理装置
- 下一篇：消除电池充放电倍频电流的高压直挂储能方法及系统
