[发明专利]套刻标识的筛选方法、掩模处理方法、装置、计算机设备、存储介质及程序产品在审
| 申请号： | 202210085187.4 | 申请日： | 2022-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN114563926A | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 兰涛明 | 申请（专利权）人： | 东方晶源微电子科技(北京)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G06F30/392;G06F30/398 |
| 代理公司： | 深圳市智享知识产权代理有限公司 44361 | 代理人： | 王琴 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及光刻技术领域，特别涉及一种套刻标识的筛选方法，获取多组待筛选套刻标识的参数；基于预设的简化标准对所述待筛选套刻标识进行简化，得到简化后的套刻标识；基于预设的筛选标准筛选所述简化后的套刻标识，得到筛选后的套刻标识。本发明还提供一种掩模处理方法、装置、计算机设备、存储介质及程序产品。本发明提供的一种套刻标识的筛选方法、掩模处理方法、装置、计算机设备、存储介质及程序产品解决了套刻标识仿真优化计算量大、运行时间长以及计算资源需求多的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 标识 筛选 方法 处理 装置 计算机 设备 存储 介质 程序 产品 | ||
【主权项】：
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