[发明专利]一种改善氮化钽薄膜均匀性的制备工艺在审
| 申请号： | 202210074216.7 | 申请日： | 2022-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN114481016A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 崔鸽;徐健;孙世刚 | 申请（专利权）人： | 四川科尔威光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 成都市鼎宏恒业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51248 | 代理人： | 罗杰 |
| 地址： | 610000 四川省成都市高新*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种改善氮化钽薄膜均匀性的制备工艺，包括以下步骤：步骤1、将基材传入工艺腔室；步骤2、对工艺腔室抽真空处理；步骤3、在最低的启辉功率下向工艺腔室通入氩气2‑5min；步骤4、在正常功率下通入氩气和氮气进行氮化钽薄膜制备。在最低启辉功率下，利用氩气的辉光放电对基片的表面进行等离子处理，有效改善成核的均匀性，改善膜层的质量，提升产品合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 氮化 薄膜 均匀 制备 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川科尔威光电科技有限公司，未经四川科尔威光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210074216.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
