[发明专利]一种间隙传感器、间隙测量方法及测量装置有效
| 申请号： | 202210073673.4 | 申请日： | 2022-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN114440781B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 陶天炯;翁继东;李成军;王翔;吴建;陈龙;马鹤立;刘盛刚;唐隆煌;贾兴;马云灿;谷伟;王为;苗志起 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院流体物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/14 | 分类号： | G01B11/14 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 梁田 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 为解决现有技术采用电容法进行间隙测量时电容极板的有效正对面积会引入一定误差以及电容测量过程容易受电磁干扰的问题，本发明实施例提供一种间隙传感器、间隙测量方法及测量装置，包括：45°反射镜，用于设于间隙的一个内壁以改变传播至45°反射镜上的光波的方向；以及光纤，光纤端面用于设于间隙的所述一个内壁；光纤端面用于使光纤中光束的一部分光反射回光纤形成参考光波，光纤端面用于使光纤中光束的另一部分光透过所述光纤端面并直线传播至45°反射镜，以使45°反射镜反射所述光束的另一部分光至间隙的另一个内壁形成用于经45°反射镜反射回所述光纤并用于与参考光波发生干涉的探测光波，以实现对间隙的一个内壁至间隙的另一个内壁的距离的测量。本发明实施例避免了采用电容法进行间隙测量时电容极板的有效正对面积会引入一定误差以及电容测量过程容易受电磁干扰的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 间隙 传感器 测量方法 测量 装置 | ||
【主权项】：
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