[发明专利]保护膜形成膜、保护膜形成用复合片及带保护膜的芯片的制造方法在审

专利信息
申请号: 202210072759.5 申请日: 2022-01-21
公开(公告)号: CN115124743A 公开(公告)日: 2022-09-30
发明(设计)人: 小桥力也;小升雄一朗;佐藤美玲 申请(专利权)人: 琳得科株式会社
主分类号: C08J5/18 分类号: C08J5/18;C08L75/14;C08L33/00;C08K3/36;C09J7/24;C09J7/38;C09J133/00;H01L21/301
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 张晶;谢顺星
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种保护膜形成膜,其为能量射线固化性的保护膜形成膜,所述保护膜形成膜含有不具有能量射线固化性基团的丙烯酸树脂(b)与无机填充材料(d),所述丙烯酸树脂(b)的重均分子量为1100000以下,分散度大于3.0,在所述保护膜形成膜中,除所述无机填充材料(d)以外的成分的合计含量相对于所述无机填充材料(d)的含量的比例为40质量%以上。
搜索关键词: 保护膜 形成 复合 芯片 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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