[发明专利]一种基于PDMS膜和游标效应增敏的光纤液压传感器

摘要

本发明提供了一种基于聚二甲基硅氧烷膜和游标效应增敏的光纤液压传感器，属于液体压强测量技术领域。本发明结合单模光纤、多模光纤、悬浮芯光纤及石英管的特性设计了高集成度混合干涉仪(即迈克尔逊干涉仪以及法布里‑珀罗干涉仪)结构的传感头，所述石英管末端设置有PDMS膜，其具有良好的弹性和疏水性，可以实现液压变化的准确测量，且灵敏度高；同时，本发明所述传感头的高集成度设计所形成的两个干涉仪具有高集成度的级联结构，其中，法布里‑珀罗干涉仪作为传感干涉仪，迈克尔逊干涉仪作为参考干涉仪，能够实现游标效应增敏，将光纤液压传感器的灵敏度进一步提高一到两个数量级。