[发明专利]耦合反射和透射光路的原子力显微镜在审
| 申请号： | 202210068408.7 | 申请日： | 2022-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN114594284A | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 刘大猛;王冲;庞华;刘惠贤;雒建斌 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01Q60/42 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李梦晨 |
| 地址： | 100084 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种耦合反射和透射光路的原子力显微镜，包括腔体、探针、制冷系统和光学系统，腔体设有真空腔，真空腔用于容纳样品和探针，探针用于对样品表面进行探测；制冷系统用于给样品和探针制冷；光学系统包括一对视窗组件和一对物镜，视窗组件包括中空壳体和用于封闭中空壳体第二端的透光盖板，中空壳体的第二端伸入腔体内，两个透光盖板平行对称设置，样品和探针位于两个透光盖板之间；一对物镜分别设在一对中空壳体内，两个物镜平行对称设置，样品能够与物镜的轴线垂直。将传统物镜与超高真空超低温原子力显微镜的探针耦合，且激光能够垂直入射同时满足反射光路和透射光路的探测条件。 | ||
| 搜索关键词： | 耦合 反射 透射 原子 显微镜 | ||
【主权项】：
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