[发明专利]一种电光强度调制器芯片频率响应测试的方法

摘要

一种电光强度调制器芯片频率响应测试的方法，属于光电子技术领域，旨在提供可以实现电光强度调制器芯片本征频率响应测试的方法。本发明利用光学频率梳产生的相干光学梳状谱信号，输入到待测电光强度调制器芯片中，同时微波网络分析模块信号源输出的扫频微波信号经微波探针加载到待测电光强度调制器芯片上对光学频率梳进行调制，调制后的光信号被送入光电探测器中进行光电转换，光电转换得到的电信号被微波网络分析模块的接收机探测，通过分析探测到的低频电信号就能得到只包含微波探针响应和待测电光强度调制器响应的联合响应。随后，进行微波参考面校准、微波功率校准和终端反射系数测试，获得计算微波探针响应所需的各项参数，由此计算得到微波探针的响应。最后，从联合响应中扣减微波探针的响应就可以得到待测电光强度调制器芯片的相对电光频率响应。另外，针对马赫‑曾德尔型电光强度调制器芯片测试，功率校准后还可以获得输入到调制器的微波功率值，由此可以计算出调制器的半波电压。本方法具备电光强度调制器裸芯片测试的能力，无需进行额外的外部封装就可以实现电光强度调制器芯片的频率响应特性测试。