[发明专利]一种刻蚀机反应腔的石英窗的加工方法有效
| 申请号： | 202210060741.3 | 申请日： | 2022-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN114536158B | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 秦一川;许存娥;胡龙辉;卢旭彬 | 申请（专利权）人： | 宁波云德半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B19/00 | 分类号： | B24B19/00;B24C1/06 |
| 代理公司： | 杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人： | 侯申飞 |
| 地址： | 315336 浙江省宁波市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种刻蚀机反应腔的石英窗的加工方法，用于对石英窗中间料进行加工，石英窗中间料的上表面具有贯穿石英窗中间料的台阶孔，台阶孔具有台阶面，石英窗中间料的下表面为光滑的平直面，刻蚀机反应腔的石英窗的加工工艺包括对台阶面进行加工的台阶面加工步骤以及对平直面进行加工的平直面加工步骤；台阶面加工步骤包括：对台阶孔的孔壁进行火抛光；通过金属刀具对台阶面进行加工，铣平台阶面；将研磨液填充于台阶孔，使研磨液没过台阶面；以及通过高密度纤维对台阶面进行抛光；平直面加工步骤包括：通过喷砂的方式对平直面进行加工，增加平直面的粗糙度；以及将平直面浸泡到氟化氢溶液中，通过氟化氢溶液去除平直面上因喷砂形成的破碎层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 反应 石英 加工 方法 | ||
【主权项】：
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