[发明专利]一种刻蚀机反应腔的石英窗的加工方法

权利要求书

1.一种刻蚀机反应腔的石英窗的加工方法，用于对石英窗中间料进行加工，所述石英窗中间料的上表面具有贯穿石英窗中间料的台阶孔，所述台阶孔具有台阶面，所述石英窗中间料的下表面为光滑的平直面，其特征在于，刻蚀机反应腔的石英窗的加工工艺包括对所述台阶面进行加工的台阶面加工步骤以及对所述平直面进行加工的平直面加工步骤；

所述台阶面加工步骤包括：

对台阶孔的孔壁进行火抛光；

通过金属刀具对台阶面进行加工，铣平所述台阶面；

将研磨液填充于台阶孔，使研磨液没过所述台阶面；以及

通过高密度纤维对所述台阶面进行抛光；

所述平直面加工步骤包括：

通过喷砂的方式对平直面进行加工，增加平直面的粗糙度；以及

将平直面浸泡到氟化氢溶液中，通过氟化氢溶液去除平直面上因喷砂形成的破碎层。

2.根据权利要求1所述的一种刻蚀机反应腔的石英窗的加工方法，其特征在于，对台阶孔的孔壁进行火抛光的操作方式为：将火焰抛光枪开启后靠近台阶孔，通过火焰加热台阶孔的孔壁。

3.根据权利要求2所述的一种刻蚀机反应腔的石英窗的加工方法，其特征在于，所述火焰的外焰在所述台阶面上以及贯穿台阶孔的侧壁上以1cm/s的速度来回移动，所述火抛光的时长为1到2min。

4.根据权利要求1所述的一种刻蚀机反应腔的石英窗的加工方法，其特征在于，铣平所述台阶面的操作方式为：通过面铣刀对台阶面进行磨平。

5.根据权利要求1所述的一种刻蚀机反应腔的石英窗的加工方法，其特征在于，将研磨液填充于台阶孔，使研磨液没过所述台阶面的操作方式为：将所述石英窗中间料放置到打磨台上，所述打磨台的上表面平整，所述台阶孔的下表面与所述打磨台的上表面紧密贴合后将所述研磨液注入所述台阶孔中。

6.根据权利要求1所述的一种刻蚀机反应腔的石英窗的加工方法，其特征在于，通过高密度纤维对所述台阶面进行抛光的操作方式为：将石英窗中间料放置到打磨台上，将所述高密度纤维材料连接在打磨头上，所述打磨头与加工主轴相连，所述打磨头的直径小于所述台阶孔的直径，通过所述打磨头对所述台阶面进一步磨平。

7.根据权利要求6所述的一种刻蚀机反应腔的石英窗的加工方法，其特征在于，所述高密度纤维为羊毛毡，所述羊毛毡裁剪为与所述打磨头形状一致。

8.根据权利要求1所述的一种刻蚀机反应腔的石英窗的加工方法，其特征在于，将遮挡件套在所述石英窗中间料上，所述遮挡件具有穿孔，所述遮挡件遮盖所述石英窗中间料下表面的边缘区域，所述石英窗的下表面通过所述穿孔暴露，所述遮挡件由硅胶制成。

9.根据权利要求8所述的一种刻蚀机反应腔的石英窗的加工方法，其特征在于，采用金刚砂或石英砂对所述石英窗中间料的下表面通过所述穿孔暴露的区域进行喷砂。

10.根据权利要求1所述的一种刻蚀机反应腔的石英窗的加工方法，其特征在于，所述氟化氢溶液的浓度为5％，所述石英窗中间料喷砂完成后，所述石英窗中间料的下表面在所述氟化氢溶液中浸泡12h，最后使用清水对所述石英窗中间料进行冲刷清洗。