[发明专利]一种器件沟道载流子平均自由程检测方法及系统在审
| 申请号： | 202210056687.5 | 申请日： | 2022-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN114414976A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 陈雷雷;闫大为;顾晓峰 | 申请（专利权）人： | 无锡芯鉴半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01N21/65 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 殷海霞 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种器件沟道载流子平均自由程检测方法及系统。本发明涉及一种确定沟道中载流子平均自由程的方法，包括利用C‑V曲线计算得到施主浓度，在器件电极施加偏置电压得到热点产生的临界电压Vc，基于临界电压Vc与施主浓度ND求出耗尽区临界场强；利用光谱仪测得器件所产生热点的电致发光光谱，求出光谱的特征峰能量；基于耗尽区临界场强和光谱特征峰能量求出载流子平均自由程。本发明结合光学和电学的手段确定了沟道中载流子平均自由程，对研究材料和器件的物理特性具有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 器件 沟道 载流子 平均自由程 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
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