[发明专利]一种管道内壁聚对二甲苯镀膜设备及镀膜方法在审
| 申请号： | 202210054607.2 | 申请日： | 2022-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN114318240A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 李志胜;刘小江;王成祥;李志安 | 申请（专利权）人： | 北京胜泰东方科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;C23C14/12 |
| 代理公司： | 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 102400 北京市房*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种管道内壁聚对二甲苯镀膜设备及镀膜方法，其中镀膜设备包括作为沉积室的被镀膜管道工件，蒸发炉、裂解炉、工艺阀和第一管道对接机构依次连通，被镀膜管道工件的两端分别与第一管道对接机构和第二管道对接机构密封连接，第二管道对接机构、前级阀、低温冷阱和真空泵依次连通，被镀膜管道工件的外部设有管道冷却罩，真空泵还通过辅抽阀与第二管道对接机构连通，第二管道对接机构上设有放气阀。本发明通过利用被镀膜管道工件自身作为设备的沉积室部分，替代原设备沉积室的功能，实现对管道内壁进行镀膜的生产需求，解决了大型镀膜设备建造的问题，提高了材料利用率，完全去掉了常规镀膜后对沉积室内壁进行清理的工艺环节，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 管道 内壁 二甲苯 镀膜 设备 方法 | ||
【主权项】：
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