[发明专利]一种基于线光谱共焦技术的光学元件缺陷检测装置及方法在审
| 申请号： | 202210049943.8 | 申请日： | 2022-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN114486912A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 陈明星;陈坚;吴周令;黄明 | 申请（专利权）人： | 合肥知常光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 韩燕;金凯 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥市高新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于线光谱共焦技术的光学元件缺陷检测装置及方法，照明单元发出的X向线性阵列光线经分束镜反射，再透过色散透镜组后聚焦于待测样品上，不同波长的线性阵列光线经待测样品反射后，再依次通过色散透镜组、分束镜透射耦合，然后从成像接收光纤束的一端进入到Z轴延伸的成像接收光纤束内，成像接收光纤束的另一端与光谱成像单元连接。本发明成像接收光纤束采用光纤线性阵列排布接收方式，可以有效避免杂光干扰和不同通道之间的光信号串扰，以提高系统的横向检测分辨率。本发明采用全反射式结构光谱成像探测方式，消除了色差影响，可适应不同波段范围，从而适应不同种类待测样品的检测需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光谱 技术 光学 元件 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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