[发明专利]单双光圈的检测方法、存储介质、终端和拉晶设备有效
| 申请号： | 202210033295.7 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN114688984B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 庄再城;孙靖;何开振;董志文;杨君;胡方明;纪步佳;杨国炜;刘明星;曹葵康;薛峰 | 申请（专利权）人： | 苏州天准科技股份有限公司;苏州天准软件有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/08 | 分类号： | G01B11/08;G01B11/24;C30B15/26;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京千壹知识产权代理事务所(普通合伙) 11940 | 代理人： | 王玉玲 |
| 地址： | 215153 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种单双光圈的检测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体领域，方法包括图像采集、单双光圈判定和单双光圈直径测量；拉晶设备包括炉体、旋转坩埚、拉晶单元、状态监测单元、加料器和控制器，控制器用于坩埚转速、拉晶绳运动、硅料熔态图像接收处理和加料需求的控制，并通过图像处理技术判断是否存在双光圈并计算光圈直径；本申请的方法简单有效，图像处理效率高，灵活设置的阈值对比判定双光圈的存在并测量其直径，为拉晶过程中晶棒的稳定成像提供了判定依据，便于在半导体制造领域推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 光圈 检测 方法 存储 介质 终端 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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