[发明专利]一种拉晶晃动监测方法、存储介质、终端和拉晶设备有效
| 申请号： | 202210033285.3 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN114351247B | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 杨君;董志文;何开振;庄再城;胡方明;纪步佳;杨国炜;马旭;曹葵康;薛峰 | 申请（专利权）人： | 苏州天准科技股份有限公司;苏州天准软件有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/26 | 分类号： | C30B15/26;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京千壹知识产权代理事务所(普通合伙) 11940 | 代理人： | 王玉玲 |
| 地址： | 215153 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种拉晶晃动监测方法、存储介质、终端和拉晶设备，属于半导体领域，方法包括采集图像并判定当前拉晶阶段、根据拉晶阶段定位区域R、提取目标轮廓、直线拟、计算晃动值S；拉晶设备包括炉体、旋转坩埚、拉晶单元、状态监测单元、加料器和控制器，拉晶单元根据晃动值S调整拉晶升降速度和转速，以保证拉晶稳定。本发明基于图像处理和直线拟合技术实时计算拉晶的晃动值，从而通过晃动值监测晶棒的状态，以此保证拉晶状态的稳定，并提高拉晶质量，便于在半导体制造领域推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晃动 监测 方法 存储 介质 终端 设备 | ||
【主权项】：
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