[发明专利]一种芯片电子超纯水系统工艺及其系统装置在审
| 申请号： | 202210033089.6 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN114368858A | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 沈海军;任晓哲;顾家嵘;胡昊;李成彬;沈锦鹏 | 申请（专利权）人： | 浙江东洋环境科技有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/04 | 分类号： | C02F9/04 |
| 代理公司： | 湖州果得知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33365 | 代理人： | 汤荷芬 |
| 地址： | 313000 浙江省湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及废水处理与回收利用设备，特别涉及芯片电子超纯水系统工艺及其系统装置。它包括芯片电子废水收集箱和增压泵、增压泵的出水端连通有叠片过滤器的进水端，叠片过滤器的出水端连通有耐污染UF装置的进水端，耐污染UF装置的出水端连通有中间水箱的进水端，中间水箱的出水端连通有RO增压泵的进水端，RO增压泵的出水端连通有超滤水净化装置的进水端，超滤水净化装置的出水端连通有保安过滤器的进水端，保安过滤器的出水端连通有高压泵的进水端，高压泵的出水端连通有抗污染RO装置的进水端，抗污染RO装置的出水端连通有RO产水水箱；耐污染UF装置的浓水端连接有硅粉回收集成装置，本发明设备可利用芯片研磨废水进行回用制备芯片电子超纯水。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 电子 超纯水 系统 工艺 及其 装置 | ||
【主权项】：
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