[发明专利]基于浮置环的多像素自由运行单光子探测器及制备方法

摘要

本发明公开了一种基于浮置环的多像素自由运行单光子探测器及制备方法，包括外延片、形成于所述外延片上像素单元、形成于所述外延片上且与所述像素单元电连接的P电极以及形成于所述外延片底部的N电极；所述像素单元包括一形成于所述外延片内的有源区以及一形成于所述外延片内且环绕所述有源区设置的浮置环，所述P电极对应形成于所述有源区的上表面且与所述有源区和浮置环的一端均电连接；通过在单光子探测器上集成有源区和围绕有源区设置的浮置环，在抑制边缘击穿效应的同时获得自淬灭结构，且二者均采用闭管或MOCVD工艺实现，二者工艺兼容、易于实现。