[发明专利]解耦的横向激励薄膜体声波谐振器在审
| 申请号： | 202210028712.9 | 申请日： | 2022-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN114765454A | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 肖恩·麦克休 | 申请（专利权）人： | 谐振公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/145;H03H9/56;H03H9/58 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 董科 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了声波谐振器器件和滤波器。声波谐振器包括衬底和具有平行正面和背面的压电板，背面附接到衬底。一解耦介电层，位于压电板的正面。一叉指换能器(IDT)，在解耦介电层上形成，使得IDT的交错的指状物位于压电板的一部分之上，该压电板的部分悬置在形成于衬底中的空腔上。 | ||
| 搜索关键词： | 横向 激励 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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