[发明专利]一种超声波测量铸锭多晶硅生长速率的装置及其使用方法在审
| 申请号： | 202210017371.5 | 申请日： | 2022-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN114370836A | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 杨秀凡;张殿喜;郭中正;袁春;窦忠宇;闫万珺 | 申请（专利权）人： | 安顺学院 |
| 主分类号： | G01B17/00 | 分类号： | G01B17/00;G01S15/88;G01S7/539;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 贵阳索易时代知识产权代理事务所(普通合伙) 52117 | 代理人： | 吕景新 |
| 地址： | 561000 贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及多晶硅生长检测技术领域，尤其是一种超声波测量铸锭多晶硅生长速率的装置及其使用方法。该装置包括铸锭炉系统，所述铸锭炉系统上方设有铸锭炉顶部玻璃观察窗口，所述铸锭炉顶部玻璃观察窗口设有与铸锭炉系统活动连接的旋转件，所述旋转件与生长速率检测器固定连接，所述生长速率检测器上方设有铸锭炉温度接口。本发明采用超声波测距技术测量铸锭多晶硅晶体高度并通过系统自动计算晶体生长速率，提高测量精度，提高测量效率，降低测量成本，实现生长速率实时监测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超声波 测量 铸锭 多晶 生长 速率 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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