[发明专利]微电子密封件内的屏障结构在审
| 申请号： | 202210007981.7 | 申请日： | 2022-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN114715838A | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | J·L·霍姆;S·J·雅各布斯;M·A·D·罗比;K·A·舒克;K·J·泰勒 | 申请（专利权）人： | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 徐东升 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请公开了微电子密封件内的屏障结构。一种器件(100)包括第一衬底(114)。所述器件(100)还包括在所述第一衬底(114)上的包括金属层(120)的屏障结构(106)，其中所述屏障结构(106)形成腔室(102)。所述器件(100)还包括在所述金属层(120)上的第二衬底，其中所述金属层(120)在所述第一衬底(114)和所述第二衬底之间延伸，并且其中所述金属层(120)包括在所述腔室(102)内接触所述第一衬底(114)的倾斜边缘。 | ||
| 搜索关键词： | 微电子 密封件 屏障 结构 | ||
【主权项】：
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