[发明专利]一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉、方法及单晶硅棒有效
| 申请号： | 202210007056.4 | 申请日： | 2022-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN114318500B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 宋振亮;宋少杰 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 李斌栋;沈寒酉 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种用于拉制单晶硅棒的拉晶炉、方法及单晶硅棒；所述拉晶炉包括：设置在水冷套上方位置且呈圆筒状的加热装置，所述加热装置被配置成使得单晶硅棒沿着竖直方向向上移动时能够进入至所述加热装置限定出的热处理室中进行热处理；设置在所述加热装置上方且呈圆筒状的冷却装置，所述冷却装置被配置成使得热处理后的所述单晶硅棒沿着竖直方向继续向上移动时能够进入至所述冷却装置限定出的冷却室中进行冷却处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 拉制 单晶硅 拉晶炉 方法 | ||
【主权项】：
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