[发明专利]光学邻近修正方法

摘要

一种光学邻近修正方法，包括：提供初始图形，初始图形具有垂直的第一部和第二部，第一部具有相平行的第一外边和第一内边；根据曝光参量获取最佳分段长度范围；在最佳分段长度范围内根据采样步长获取若干采样长度；对第一外边和第一内边进行分段处理，获取第一边缘段、第二边缘段和若干中间段；采用若干采样长度对第一边缘段、第二边缘段和中间段的进行全排列组合赋值，获取初始图形对应的若干种初始分割图形；获取对应的第一曝光图形；获取每条线段对应的放置边缘误差；根据每种放置边缘误差，获取分割图形。通过对初始版图进行了若干种的分割方案，并通过最终的筛选得到初始版图的最佳分段搭配，克服了经过修正曝光后的图形线端缩头严重的问题。