[发明专利]微反射镜阵列在审
| 申请号： | 202180083939.7 | 申请日： | 2021-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN116583764A | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | D·阿克布卢特;L·R·S·哈斯帕拉夫;N·潘迪;T·W·范德伍德;G·布瑞恩达尼托里;塞巴斯蒂安努斯·阿德里安努斯·古德恩;A·L·克莱因;J·V·奥沃卡姆普;哈利勒·戈凯·叶根;E·A·奥索里奥欧利弗罗斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种微反射镜阵列，包括：衬底；用于反射入射光的多个反射镜；用于所述多个反射镜中的每个反射镜的至少一个致动器，所述至少一个致动器用于使所述反射镜移位且所述至少一个致动器被连接至所述衬底；一个或更多个支柱，所述一个或更多个支柱将所述反射镜连接至所述至少一个致动器；以及用于所述多个反射镜中的每个反射镜的热扩散器，所述热扩散器用于扩散来自所述反射镜的热，所述热扩散器包括散热件和将所述散热件连接至所述反射镜的导热柱，其中，所述散热件包括柔性隔膜，所述柔性隔膜允许所述导热柱在所述反射镜被移位时枢转，并且其中所述柔性隔膜包括中心部分和周边部分，所述中心部分被连接至所述导热柱且所述中心部分具有大于所述周边部分的厚度的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 阵列 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202180083939.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
