[发明专利]用于金属-绝缘体-金属电容器的四层高K在审
申请号: | 202180076885.1 | 申请日: | 2021-11-10 |
公开(公告)号: | CN116458282A | 公开(公告)日: | 2023-07-18 |
发明(设计)人: | 崔起植;安藤崇志;P·C·贾米森;J·G·梅西;E·A·卡迪尔 | 申请(专利权)人: | 国际商业机器公司 |
主分类号: | H10N97/00 | 分类号: | H10N97/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 王蕊瑞 |
地址: | 美国纽*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: |
一种半导体结构及其制造方法,包括包含与第二金属层交错的第一金属层的序列的多电极堆叠电容器。四层堆叠体将第一金属层中的每个与第二金属层中的每个分隔开,四层电介质堆叠体包括由Al |
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搜索关键词: | 用于 金属 绝缘体 电容器 层高 | ||
【主权项】:
暂无信息
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