[发明专利]压电元件以及该压电元件的制造方法在审
| 申请号： | 202180073710.5 | 申请日： | 2021-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN116507582A | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 田中春辉 | 申请（专利权）人： | 斯坦雷电气株式会社 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 顾营安;张志楠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压电元件以及该压电元件的制造方法。压电元件(30)具备：设置在Si基板(20)的平面上的下部电极的Pt膜(23)；设置在Pt膜(23)上的PZT膜(25)；设置在PZT膜(25)上的上部电极的Pt膜(26)。PZT膜(25)包含垂直取向部(25a)和倾斜取向部(25b)，垂直取向部(25a)具有在与Pt膜(23)正交的方向上的c轴；倾斜取向部(25b)具有相对于垂直取向部(25a)的c轴倾斜的c轴，倾斜取向部(25b)的c轴分布相对于垂直取向部(25a)的c轴分布离散。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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