[发明专利]湿度传感器在审
| 申请号: | 202180063417.0 | 申请日: | 2021-09-13 |
| 公开(公告)号: | CN116194764A | 公开(公告)日: | 2023-05-30 |
| 发明(设计)人: | E·顿切尔 | 申请(专利权)人: | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N27/70 | 分类号: | G01N27/70 |
| 代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 徐东升 |
| 地址: | 美国德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 在所描述的示例中,一种装置(400)包括:至少一个电极(302),其具有在衬底的第一表面上的基部并且远离基部延伸至端部;对置电极(425),其与至少一个电极的端部间隔开并且具有面向端部的第一导电表面;以及具有腔体(322)的封装件(437),该腔体(322)容纳至少一个电极、衬底和对置电极,该封装件具有配置为允许大气进入腔体的至少一个开口。 | ||
| 搜索关键词: | 湿度 传感器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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