[发明专利]用于计算与部件相关联的空间图的方法和装置在审
| 申请号： | 202180061429.X | 申请日： | 2021-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN116097175A | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | M·G·E·施奈德;K·范伯克尔;金文杰 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张宁;郑振 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于计算与部件相关联的空间图的方法，该空间图指示部件中的热膨胀参数的空间变化，该方法包括：提供或确定作为时间的函数的部件中的温度分布；使用所提供的或所确定的部件中的温度分布以及与部件直接或间接相互作用的辐射束的光学测量来计算与部件相关联的空间图，该光学测量与所提供的或所确定的部件中的温度分布时间同步。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 计算 部件 相关 空间 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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