[发明专利]从使用神经网络的聚集统计的异常检测在审
| 申请号： | 202180060359.6 | 申请日： | 2021-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN116134396A | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 吉米·伊斯坎达尔;迈克尔·D·阿马科斯特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G05B23/02 | 分类号： | G05B23/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 所公开的实施描述一种方法及系统，用以执行获得代表由与执行制造操作的器件制造系统相关联的多个传感器收集的数据的多个传感器统计的简化表示的方法。所述方法进一步包括使用多个离群值检测模型产生多个离群值得分，所述多个离群值得分中的每一个使用所述多个离群值检测模型中的相应离群值检测模型基于所述多个传感器统计的简化表示产生。所述方法进一步包括使用检测器神经网络处理所述多个离群值得分以产生异常得分，所述异常得分指示与制造操作相关联的异常的可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 神经网络 聚集 统计 异常 检测 | ||
【主权项】：
暂无信息
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