[发明专利]从使用神经网络的聚集统计的异常检测

权利要求书

1.一种方法，包括：

获得多个传感器统计的简化表示，所述多个传感器统计的所述简化表示代表由与执行制造操作的器件制造系统相关联的多个传感器所收集的数据；

使用多个离群值检测模型产生多个离群值得分，其中所述多个离群值得分中的每一个使用所述多个离群值检测模型中的相应离群值检测模型基于所述多个传感器统计的所述简化表示产生；以及

使用检测器神经网络处理所述多个离群值得分以产生异常得分，所述异常得分指示与所述制造操作相关联的异常的可能性。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述多个传感器统计的所述简化表示通过使用简化器神经网络处理所述多个传感器统计的初始表示获得，其中所述初始表示包括统计参数的多个集合，其中统计参数的所述多个集合中的每一集合通过针对所述多个传感器中的相应传感器预处理原始传感器统计获得，且其中所述简化表示具有比所述初始表示少的参数。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述初始表示为所述多个传感器统计的聚集表示。

4.如权利要求2所述的方法，其中所述原始传感器统计表征与所述多个传感器中的相应传感器相关联的多个测量值。

5.如权利要求2所述的方法，其中所述简化器神经网络为前馈网络。

6.如权利要求2所述的方法，其中所述原始传感器统计的预处理包括鉴于一或多个预防性维护事件、所述制造操作的设定的一或多个改变、或所述器件制造系统的设定的一或多个改变中的至少一些来调整所述原始传感器统计。

7.如权利要求2所述的方法，其中统计参数的所述多个集合中的至少一些包括针对所述多个传感器中的相应传感器的预处理的所述原始传感器统计的平均值、中值、模式、方差、标准偏差、范围、最大值、最小值、偏度或峰态中的一或多个。

8.如权利要求1所述的方法，其中在处理所述多个离群值得分之前，归一化所述多个离群值得分中的至少一些。

9.如权利要求1所述的方法，所述方法进一步包括：响应于指示异常的存在的所述异常得分对所述器件制造系统执行异常补救动作。

10.一种系统，包括：

存储器；以及

处理器件，可操作地耦合至所述存储器，所述处理器件：

获得多个传感器统计的简化表示，所述多个传感器统计的所述简化表示代表由与执行制造操作的器件制造系统相关联的多个传感器所收集的数据；

使用多个离群值检测模型产生多个离群值得分，其中所述多个离群值得分中的每一个使用所述多个离群值检测模型中的相应离群值检测模型基于所述多个传感器统计的所述简化表示产生；以及

使用检测器神经网络处理所述多个离群值得分以产生异常得分，所述异常得分指示与所述制造操作相关联的异常的可能性。

11.如权利要求10所述的系统，其中所述多个传感器统计的所述简化表示通过使用简化器神经网络处理所述多个传感器统计的初始表示获得，其中所述初始表示包括统计参数的多个集合，其中统计参数的所述多个集合中的每一集合通过针对所述多个传感器中的相应传感器预处理原始传感器统计获得，且其中所述简化表示具有比所述初始表示少的参数。

12.如权利要求11所述的系统，其中所述原始传感器统计表征与所述多个传感器中的所述相应传感器相关联的多个测量值。

13.如权利要求11所述的系统，其中所述原始传感器统计的预处理包括鉴于一或多个预防性维护事件、所述制造操作的设定的一或多个改变、或所述器件制造系统的设定的一或多个改变中的至少一些来调整所述原始传感器统计。