[发明专利]干式气体洗涤器

摘要

公开了一种用于干式气体洗涤器的装置。用于干式气体洗涤器的装置包括：冷却腔室，所述冷却腔室由壳体限定，所述壳体具有用于接收排出流以供所述干式气体洗涤器处理的入口、用于提供所述排出流以供所述干式气体洗涤器处理的出口、以及在所述腔室内的至少一个冷却板，所述冷却板与所述壳体热耦合并被构造成当所述排出流从所述入口流动到所述出口时使所述排出流的流动方向偏离。以此方式，冷却腔室介于加工工具与干式气体洗涤器的树脂腔室之间，并且操作以在将排出流输送至树脂腔室之前冷却排出流。以这种方式冷却排出流有助于改善树脂的性能，即使当排出流处于升高的温度下时。