[发明专利]干式气体洗涤器

说明书

公开了一种用于干式气体洗涤器的装置。用于干式气体洗涤器的装置包括：冷却腔室，所述冷却腔室由壳体限定，所述壳体具有用于接收排出流以供所述干式气体洗涤器处理的入口、用于提供所述排出流以供所述干式气体洗涤器处理的出口、以及在所述腔室内的至少一个冷却板，所述冷却板与所述壳体热耦合并被构造成当所述排出流从所述入口流动到所述出口时使所述排出流的流动方向偏离。以此方式，冷却腔室介于加工工具与干式气体洗涤器的树脂腔室之间，并且操作以在将排出流输送至树脂腔室之前冷却排出流。以这种方式冷却排出流有助于改善树脂的性能，即使当排出流处于升高的温度下时。

技术领域

本发明的领域涉及用于干式气体洗涤器的装置。

背景技术

干式气体洗涤器是已知的。干式气体洗涤器通常用于处理来自半导体加工工具的排出流。干式气体洗涤器进行干燥树脂消减以消减容易吸附树脂上的材料并与树脂上的材料进行反应的气体。尽管存在这种干式洗涤器，但是它们各自具有它们自身的缺点。因此，期望提供一种改进的干式气体洗涤器。

发明内容

根据第一方面，提供了一种用于干式气体洗涤器的装置，包括：冷却腔室，所述冷却腔室由壳体限定，所述壳体具有用于接收排出流以供所述干式气体洗涤器处理的入口、用于提供所述排出流以供所述干式气体洗涤器处理的出口以及在所述腔室内的至少一个冷却板，所述冷却板与所述壳体热耦合并被构造成当所述排出流从所述入口流动到所述出口时使所述排出流的流动方向偏离。

第一方面认识到现有装置的问题在于，排出流可在升高的温度下到达干式气体洗涤器。该升高的温度可损害或降低干式气体洗涤器的有效性。因此，提供了一种装置。该装置可以用于干式气体洗涤器。该装置可包括冷却腔室。冷却腔室可以由壳体或外壳限定。壳体可以具有入口。入口可以接收待由干式气体洗涤器处理的排出流。壳体可具有出口，该出口提供待由干式气体洗涤器处理的排出流。壳体可具有定位在冷却腔室内的一个或多个冷却板。冷却板可以与壳体热耦合。也就是说，冷却板可以提供到壳体的导热路径。当排出流从入口行进至出口时，冷却板可偏离、改变或更改排出流在冷却腔室内的流动方向。以此方式，冷却腔室介于加工工具与干式气体洗涤器的树脂腔室之间，并且操作以在将排出流输送至树脂腔室之前冷却所述排出流。以这种方式冷却排出流有助于改善树脂的性能，即使当排出流处于升高的温度下时。

冷却腔室可以包括多个冷却板。增加冷却板的数量可以提高冷却腔室的冷却效率。

冷却板可沿着排出流在从入口流动到出口时的流动方向定位。

冷却板可以至少部分地延伸跨过所述腔室以提供无阻碍部分，从而便于从入口到出口的流动。

相邻的冷却板可至少部分地沿相反的方向延伸跨过所述腔室，以提供相反的无阻碍部分，从而偏离从入口至出口的流动方向。

冷却板可构造成至少部分地提供从入口到出口的蜿蜒流动方向。这有助于增加排出流在冷却腔室内的停留时间，并增加与排出流的热接触以改善排出流的冷却。

壳体可以是圆柱形的，并且冷却板可以至少部分地由圆扇形区段限定。

壳体可以包括至少部分地在入口和出口之间延伸的内部导管。提供内部导管有助于进一步增强排出流的冷却。

内部导管可被定位成将从入口流到出口的排出流分成围绕冷却板流动的第一流和流过内部导管的第二流。

冷却板可以在内部管道和壳体之间延伸，以在内部管道和壳体之间提供热路径。

内部导管可包括靠近入口的至少一个入口孔口和靠近出口的至少一个出口孔口，以便于第二流从入口流动到出口。

所述至少一个孔口可以定向成促进第二流在远离出口的方向上流动。

至少一个孔口可定向成便于第二流在横向于第一流的流动方向的方向上流动。这有助于改善第一流和第二流的混合，以便进一步增强整体冷却。