[发明专利]压力传感器和制造压力传感器的方法在审
申请号: | 202180054233.8 | 申请日: | 2021-08-16 |
公开(公告)号: | CN116018508A | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 埃尔克·施密特;尼尔斯·波纳特;安德烈亚斯·罗斯贝格;英·图安·塔姆 | 申请(专利权)人: | 恩德莱斯和豪瑟尔欧洲两合公司 |
主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 蔡石蒙;黄刚 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种压力传感器(1),其具有主体(2)和压敏陶瓷测量膜(3),其中,所述测量膜(3)的外边缘通过环绕接头(5)以压密方式连接到所述主体(2)的面对所述测量膜(3)的所述外边缘的表面,以便封围出压力腔室(2),其中,所述接头(5)具有共晶成分构成的三元活性硬焊料(6)。所述压力传感器(1)能够通过包括以下步骤的方法生产出来:提供所述主体(2)、所述测量膜(3)和所述活性硬焊料(6);将所述活性硬焊料(6)定位在所述测量膜(3)的所述外边缘与所述主体(2)的面对所述测量膜(3)的所述外边缘的表面之间;将所述主体(2)、所述测量膜(3)和所述活性硬焊料(6)加热至接合温度,所述接合温度基本对应于所述活性硬焊料(6)的共晶点的温度。此外,本发明还涉及一种生产压力传感器(1)的方法。 | ||
搜索关键词: | 压力传感器 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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