[发明专利]真空泵在审
| 申请号： | 202180053111.7 | 申请日： | 2021-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN116018464A | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 三轮田透;高井庆行;坂口祐幸 | 申请（专利权）人： | 埃地沃兹日本有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张泽洲;任霄 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空泵，前述真空泵能够减少朝向用于隔热而设置的间隙的气体的流动(气体分子的数量)，减少在间隙堆积的副产物的量，延长需要维护的间隔来提高生产率。前述真空泵具有外筒(127)、转子轴(113)、多层的旋转翼(102)、多层的固定翼(123)、冷却侧定子(110A)及加热侧定子(110B)，前述外筒(127)具有吸气口(101)和排气口(133)，前述转子轴(113)旋转自如地支承于外筒(127)的内侧，前述多层的旋转翼(102)能够与转子轴(113)一同旋转，前述多层的固定翼(123)相对于外筒固定，且配置于多层的旋转翼(102)之间，前述冷却侧定子(110A)及加热侧定子(110B)将多层的固定翼(123)以既定间隔保持，在旋转体(103)的轴向上不与旋转翼(102)的外周面相向的位置，设置有将冷却侧定子(110A)和加热侧定子(110B)之间隔热的既定宽度的间隙(114)的开口部(114A)。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 | ||
【主权项】：
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