[发明专利]原位沉积厚度监测在审
| 申请号： | 202180035133.0 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN115605725A | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | C·A·保尔森;D·M·德林 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 乐洪咏;张璐 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于原位测量通过沉积过程沉积的涂层的厚度的方法，其包括下述步骤：在沉积室内引发沉积，以在沉积室中放置的探针的外表面上形成第一涂层，其中，所述探针包括线圈组件，该线圈组件包括至少一个线圈，其中，所述探针与位于沉积室内的基材分开一距离；用第一交流电流激发线圈组件以产生第一时变磁场，第一时变磁场在第一涂层中产生涡流；确定与线圈组件的电感或电阻相关的度量，其中，该度量的数值与第一涂层的第一厚度相关并且至少部分由涂层中的涡流所产生的涡流磁场得到；以及将第一涂层的第一厚度与沉积在基材表面上的第二涂层的第二厚度相关联。 | ||
| 搜索关键词： | 原位 沉积 厚度 监测 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于康宁股份有限公司，未经康宁股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202180035133.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
