[发明专利]结构化照明的相位掩模在审
申请号: | 202180022444.3 | 申请日: | 2021-02-16 |
公开(公告)号: | CN115297765A | 公开(公告)日: | 2022-11-04 |
发明(设计)人: | M·乔治亚迪斯 | 申请(专利权)人: | 热电科学仪器有限公司 |
主分类号: | A61B5/00 | 分类号: | A61B5/00;G01B9/02;G01J3/453 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 周全 |
地址: | 美国威*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 描述相位掩模的实施例,所述相位掩模包括安置于衬底上的挡光层,其中所述挡光层具有多个光学透射区,每一光学透射区被配置为第一图案。所述第一图案包含具有彼此不同的相位配置的两个片段,并且所述挡光层包含所述第一图案的至少三个角定向。 | ||
搜索关键词: | 结构 照明 相位 | ||
【主权项】:
暂无信息
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