[发明专利]弹性波器件在审
| 申请号： | 202180017384.6 | 申请日： | 2021-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN115176416A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 门田道雄;田中秀治 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人东北大学 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/145 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;刘余婷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种弹性波器件，其能够使用谐波而在6GHz以上的超高频带获得良好特性。具有压电基板(11)、以与压电基板(11)接触的方式设置的电极(12)、和以与压电基板(11)和/或电极(12)接触的方式设置的声多层膜(13)，且构成为利用弹性表面波的谐振特性中的谐波。电极(12)具有设置在压电基板(11)的一表面上的帘状电极(12a)。谐波的弹性表面波优选为声速9000m/s以上。声多层膜(13)优选为低声阻抗膜(13a)与高声阻抗膜(13b)交替地层叠。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 器件 | ||
【主权项】：
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