[发明专利]弹性波器件

权利要求书

1.一种弹性波器件，其特征为，具有：

压电基板；

以与所述压电基板接触的方式设置的电极；和

以与所述压电基板和/或所述电极接触的方式设置的声多层膜，

所述弹性波器件构成为利用弹性表面波的谐振特性中的谐波。

2.根据权利要求1所述的弹性波器件，其特征在于，

所述谐波的弹性表面波相当于声速9000m/s以上。

3.根据权利要求1或2所述的弹性波器件，其特征在于，

所述声多层膜交替地层叠有低声阻抗膜与高声阻抗膜。

4.根据权利要求1～3任一项所述的弹性波器件，其特征在于，

所述声多层膜具有将低声阻抗膜与高声阻抗膜交替连续地层叠为3层以上20层以下的声膜。

5.根据权利要求3或4所述的弹性波器件，其特征在于，

所述声多层膜的各低声阻抗膜和/或各高声阻抗膜，由包含Mg合金、SiO₂、SiOF、Al、Y、Si、Ge、Ti、ZnO、Si_xN_y、AlN、SiC、Al₂O₃、Ag、ZrO₂、Hf、Cu、TiO₂、Cr、Ni、Au、Ta、Mo、Pt以及W中的至少一种的膜或者是包含它们中的至少一种的氧化膜、氮化膜、碳化膜或碘化膜构成，其中，x及y为正的实数。

6.根据权利要求3～5任一项所述的弹性波器件，其特征在于，

所述声多层膜的各低声阻抗膜以及各高声阻抗膜中的至少3层的各厚度，分别为所述弹性表面波的0.012波长～0.118波长、0.105波长～0.2波长、或者是0.216波长～0.275波长。

7.根据权利要求3～6任一项所述的弹性波器件，其特征在于，

所述声多层膜的各低声阻抗膜中的至少1层的厚度为所述弹性表面波的0.012波长～0.118波长，各高声阻抗膜中的至少1层的厚度为所述弹性表面波的0.015波长～0.108波长、0.109波长～0.12波长、或者是0.216波长～0.275波长。

8.根据权利要求3～6任一项所述的弹性波器件，其特征在于，

所述声多层膜的各高声阻抗膜中的至少1层的厚度为所述弹性表面波的0.015波长～0.108波长，各低声阻抗膜中的至少2层的各厚度分别为所述弹性表面波的0.015波长～0.118波长、0.119波长～0.2波长、或者是0.216波长～0.275波长。

9.根据权利要求1～8任一项所述的弹性波器件，其特征在于，

所述压电基板由LiNbO₃或LiTaO₃的单晶构成。

10.根据权利要求1～8任一项所述的弹性波器件，其特征在于，

所述电极由设置在所述压电基板的一表面上的帘状电极构成，

所述声多层膜设置为与所述压电基板的另一表面接触，

所述压电基板由LiNbO₃晶体构成，欧拉角为(-30°～30°，60°～103°，-15°～15°)以及(90°±6°，90°±6°，-20°～48°)的任意一方，或者是与它们的任意一方在晶体学上等价的欧拉角。

11.根据权利要求1～8任一项所述的弹性波器件，其特征在于，

所述电极具有设置在所述压电基板的一表面上的帘状电极、和以覆盖所述压电基板的另一表面的方式设置的悬浮电极，

所述声多层膜设置为与所述悬浮电极的所述压电基板相反侧的表面接触，

所述压电基板由LiNbO₃晶体构成，欧拉角为(-30°～30°，64°～98°，-15°～15°)以及(90°±6°，90°±6°，-4°～56°)的任意一方，或者是与它们的任意一方在晶体学上等价的欧拉角。