[发明专利]送液装置以及送液方法在审
申请号: | 202180017192.5 | 申请日: | 2021-03-05 |
公开(公告)号: | CN115190942A | 公开(公告)日: | 2022-10-14 |
发明(设计)人: | 秋枝大介;塚田修大;用田祐介;桥本雄一郎;前田淳 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立高新技术 |
主分类号: | F04B49/06 | 分类号: | F04B49/06;F04B49/08;G01N30/32;G01N30/34 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 范胜杰;文志 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 实现一种能够高精度地输送液体的送液装置。具备:送液部(104),其具有通过柱塞(207、208)滑动来进行溶剂的吸取动作及排出动作的缸(205、206);压力传感器(217),其设置在送液部(104)的下游侧,检测所排出的溶剂的压力;切换阀(102a~102d),其切换吸取及排出的多个溶剂;以及控制部(218),其控制送液部(104)及切换阀(102a~102d)的动作。控制部(218)与柱塞(207、208)的吸取动作同步地控制切换阀(102a~102d)的动作,以使多个溶剂的混合比率变化,并控制柱塞(207、208)以互不相同的至少第一加速度及第二加速度进行动作,抑制被柱塞(207、208)吸取的所述溶剂的摆动。 | ||
搜索关键词: | 装置 以及 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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