[发明专利]新型鎓盐和光产酸剂在审
| 申请号： | 202180005314.9 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN114401975A | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 赤泽庆彦;木津智仁;高桥龙辅;中村友治;木村秀基 | 申请（专利权）人： | 三亚普罗股份有限公司 |
| 主分类号： | C07F9/535 | 分类号： | C07F9/535;C07C381/12;C07C25/18;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于洁;庞东成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明作为光产酸剂发挥功能，进而该光产酸剂通过与下述成分等组合提供一种化学增幅型光致抗蚀剂组合物，该成分是在通过照射光或电子射线等活性能量射线所产生的酸的作用下对碱的溶解性增大的树脂。本发明涉及一种鎓盐，其为通式(1)所示的鎓盐，其中，在阴离子结构的面式体和经式体这2种异构体中，面式体的比例为15.0重量％以下。[(R |
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| 搜索关键词： | 新型 光产酸剂 | ||
【主权项】：
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