[发明专利]单晶纤维制造装置及单晶纤维制造方法在审
申请号: | 202180003320.0 | 申请日: | 2021-02-12 |
公开(公告)号: | CN114829684A | 公开(公告)日: | 2022-07-29 |
发明(设计)人: | 进藤勇 | 申请(专利权)人: | 株式会社水晶系统 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 林露 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种单晶纤维制造装置及单晶纤维制造方法,该装置及方法完全不需要在以往的单晶纤维制造装置中所需的高精度的控制性,而且,使在长时间内维持稳定的稳定状态变得极为容易,并能稳定地制造数百m以上的长的单晶纤维。一种单晶纤维制造装置,在腔室内将激光照射到原料棒的上表面以形成熔融液,将种晶单晶浸于该熔融液并向上方提起,从而制造单晶纤维,包括:激光光源,其将激光以平行光的形式照射;提起装置,其构成为能在保持种晶单晶的状态下使种晶单晶沿铅垂方向上下移动;以及平面反射镜,其以使激光垂直入射到原料棒的上表面的形式使激光反射,构成为以使熔融液的温度呈环状温度分布的形式将激光照射到原料棒的上表面。 | ||
搜索关键词: | 纤维 制造 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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