[发明专利]单晶纤维制造装置及单晶纤维制造方法

权利要求书

1.一种单晶纤维制造装置，是在腔室内将激光照射到原料棒的上表面以形成熔融液，将种晶单晶浸于该熔融液并向上方提起，从而制造单晶纤维的单晶纤维制造装置，其特征是，包括：

激光光源，该激光光源将所述激光以平行光的形式照射；

提起装置，该提起装置构成为能在保持所述种晶单晶的状态下使所述种晶单晶沿铅垂方向上下移动；以及

平面反射镜，该平面反射镜以使所述激光垂直入射到所述原料棒的上表面的形式使所述激光反射，

构成为以使所述熔融液的温度呈环状温度分布的形式将所述激光照射到所述原料棒的上表面。

2.根据权利要求1所述的单晶纤维制造装置，其特征是，

所述激光是具有环状强度分布的激光。

3.根据权利要求1或2所述的单晶纤维制造装置，其特征是，

所述原料棒的半径是所制造的单晶纤维的半径的十倍以上。

4.根据权利要求3所述的单晶纤维制造装置，其特征是，

在所制造的单晶纤维的半径为100μm以下的情况下，所述原料棒的半径设置在2mm～5mm的范围。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的单晶纤维制造装置，其特征是，

还具备：导光器具，该导光器具收容所述腔室的激光导入窗和所述平面反射镜。

6.根据权利要求5所述的单晶纤维制造装置，其特征是，

构成为从所述导光器具向所述腔室内导入气氛气体。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的单晶纤维制造装置，其特征是，

还具备：位置控制单元，该位置控制单元用于将所述单晶纤维的水平面内位置控制在规定的限制范围内。

8.一种单晶纤维制造方法，是将作为平行光的激光照射到原料棒的上表面以形成熔融液，将种晶单晶浸于该熔融液并向上方提起，从而制造单晶纤维的单晶纤维制造方法，其特征是，

以使所述熔融液的温度呈环状温度分布的形式将所述激光照射到所述原料棒的上表面。

9.根据权利要求8所述的单晶纤维制造方法，其特征是，

所述激光是具有环状强度分布的激光。

10.根据权利要求8或9所述的单晶纤维制造方法，其特征是，

所述原料棒的半径是所制造的单晶纤维的半径的十倍以上。

11.根据权利要求10所述的单晶纤维制造方法，其特征是，

在所制造的单晶纤维的半径为100μm以下的情况下，所述原料棒的半径设置在2mm～5mm的范围。